| Données | |
| Résolution | jusqu’à 0,6nm (mode STEM) |
| Courant de sonde | jusqu’à 300nA |
| Tension d’accélération | 20 V à 30 kV |
| Modes de détection (sélection) | |
| In-lens (SE) | détection d’électrons secondaires dans l’axe intégrée dans la colonne |
| In-lens (EsB) | détection en parallèle des électrons rétrodiffusés avec sélection d’énergie dans l’axe intégrée dans la colonne pour des contrastes de matériaux; imagerie SE et EsB intégrées dans la colonne |
| Détecteur de rétrodiffusion à sélectivité angulaire (AsB) | Pour les contrastes cristallographiques. |
| 3DSM | Pour la visualisation de topographie de surface 3D en temps réel. |
| STEM | Imagerie en transmission optimisée basse tension pour champ clair, champ sombre 4 quadrants et champ sombre à grand angle. |
| Modules d’application (sélection) | |
| Cartographie de grandes surface ATLAS | Pour la cartographie de grandes zones d’échantillon. |
| Microscopie à force atomique (AFM) | Extension de votre MEB pour la résolution des couches atomiques individuelles et pour l’étude du magnétisme de surface ou de la conductivité locale. |
| Compensation locale de la charge | Imagerie d’échantillons non conducteurs sans aucun compromis en détection. |
| 3View | Ultra-microtome in-situ pour réaliser des reconstructions 3D de grands volumes de matière molle. |
Aussi polyvalent que vos applications
Apprenez-en plus sur les nanomatériaux, les échantillons de semiconducteurs, les minéraux, les aciers ou alliages – utilisez simplement la gamme d’options spécifiques à vos application
- Utilisez l’option hybride MEB/AFM (microscopie à force atomique) et obtenez des informations sur vos échantillons de semiconducteurs et de nanomatériaux à une résolution atomique
- Cartographiez de vastes zones des échantillons pour vérifier la conception des structures semiconductrices avec le module de cartographie de surface étendue ATLAS
- Explorez les échantillons non conducteurs tels que les minéraux, les céramiques, le verre et les polymères sans compromis au niveau de la tension du faisceau, de la détection et de l’analyse grâce à la compensation de la charge par pression variable localisée
- Déterminez facilement la topographie et la rugosité de la surface des dispositifs MEMS, des nanostructures, des empreintes pour les mesures de la dureté ou les marques de grattage dans les enquêtes médico-légales avec le module d’imagerie 3DSM en temps réel
- Capturez les images d’échantillons magnétiques sans distorsion d’image grâce à la construction de la lentille GEMINI.
- Ajoutez l’ultra-microtome 3View pour réaliser des reconstructions 3D de grands volumes de matière molle.
Les performances des matériaux modernes, des nanocomposites, des polymères, des aciers à haute résistance et des structures semiconductrices sont hautement dépendantes des plus petits détails de leur composition. Le système complet de détection MERLIN avec détection des électrons rétrodiffusés avec sélection d’énergie (EsB) dans l’axe est idéalement adapté pour révéler ces détails de la composition. Le filtrage en énergie permet de différencier les changements dans le régime de faible perte des électrons rétrodiffusés, qui est sensible aux composés de matériaux et à leurs dérivés et phases. La conception exclusive du détecteur, symétrique et dans l’axe, permet d’éliminer presque totalement tout besoin de réalignement lorsque les paramètres de fonctionnement changent.
Les signaux provenant d’autres détecteurs, tels que le détecteur d’électrons secondaire in-lens, peuvent en outre être enregistrés et affichés en parallèle pour une caractérisation complète de l’échantillon.
ZEISS Atlas 5 – Maîtrisez l’imagerie Multi-échelle
Atlas 5 vous simplifie la vie: créez des images multi-échelles, multimodales avec un environnement logiciel qui met votre échantillon au centre du workflow de travail. Atlas 5 est une suite logicielle et matérielle qui étend les capacités de votre MEB ZEISS.
3D Surface Modelling – 3DSM
Votre MEB mesure et analyse n’importe quel échantillon en 2D; pour étudier la surface de l’échantillon en 3D, utilisez le module 3DSM. 3DSM, une application ZEISS vour fournit des information topographiques par la reconstruction d’un modèles 3D complet de la surface à partir des signaux du détecteur AsB de votre MEB.